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五维测量仪器是一款用于手机镜头内音圈马达(VCM)在线检测的仪器,可以同时检测马达运动过程中的水平方向位姿、垂直方向位移以及水平方向倾斜五个指标。采用自主设计的光学系统,配合独创算法,可以达到1um、1′的高测量精度。此外,本产品采用高度光电探测器,可以达到1KHz的高采样频率。产品支持上位机软件控制和串口通信控制,简洁、准确,配有独立的显示器,便于在测量初期对准被测物体。